我國臭氧技術起步較晚，上世紀七十年代中期才開始進行研究及開發應用，并在八十年代能生產出單機產量為1kg/h的工頻臭氧發生器。雖然當時的條件比較艱苦，工業基礎也相對落后，但這是我國在研制大型臭氧設備方面發展比較快的一個歷史時期。
在其后的十多年中，隨著我國在瓶裝水及桶裝水生產中強制使用臭氧消毒政策的出臺，以及一些家用臭氧空氣消毒產品的推廣應用，對整個臭氧行業的發展起到了巨大的推動作用，一些生產臭氧發生器及相關產品的企業如雨后春筍般的出現，中小型臭氧發生器及空氣消毒產品在技術和性能上也日趨完善。盡管這段時期臭氧及應用被越來越多的人所認識和了解，應用領域不斷拓展，目前，國產大型臭氧發生器在技術上也取得長足的進步，目前以中高品放電為主，尤其在單機產量上獲得突破，直至目前，已經成功研制130kg/h的高頻臭氧發生器；達到了*水平。
    國內目前運行的1kg/h以上大型臭氧設備，已經有很多企業，基本不再依賴于進口，如昆明、上海、常州、桐鄉等地自來水廠，采用的臭氧設備是國內廠家的設備，在性能和節能方面具有非常突出的優勢