1785年，德國人在使用電機時，發現在電機放電時，產生一種奇怪的氣味。直至1840年，法國科學家Schonbein將這種異常氣味確定為O3，命名為OZONE。
　　
　　自此，歐洲科學家便開始研究臭氧的特性與功用。隨著人們對臭氧研究的不斷深入，現在臭氧的特性應用已十分明確。其實在自然界中，臭氧本身是廣泛存在的，只是不同條件下濃度差別比較大，不容易被人們察覺。現在人們所了解的大氣臭氧層，是阻擋太陽紫外線的天然屏障，它是由太陽光的一種特定波長光譜的光照射空氣產生的。每當雷雨過后，我們就會聞到一種特殊的清新味道，這實際上就是空氣中臭氧濃度提高的結果。
　　
　　人們對臭氧研究發現，臭氧具有不穩定性與強氧化性。臭氧的主要應用就是在人為的滅菌消毒。這是因為臭氧的強氧化性，氧原子可以氧化細菌，細胞壁，直至穿透細胞壁與其體內不飽和鍵化合奪去細菌生命，它的作用是即刻完成的。因此，臭氧發生器在滅菌消毒中名列，也成就了它的四大功效：滅菌、氧化、脫色、除味。也正是這些功效，讓臭氧在給排水處理、污水廢水處理、紙漿漂白、畜牧殺菌除臭等各行各業有了用武之地。