臭氧發生器產生的臭氧分子式為O3，（它一般是通過高壓放電激活空氣中的氧氣而獲得的，）本機采用新型PEM膜電極低壓直流電解純水的方式產生臭氧的，它的自然消失速度比高壓放電法要慢，約在幾十分鐘內就由臭氧轉化為氧氣。在這個過程中，O3分解出一個單原子氧，O3的殺菌作用主要來自這個單原子氧的氧化作用。單原子氧與引起溫室植物病害的細菌、真菌及病毒接觸后，將其組織蛋白、氨基酸、硫醇類或低分子量肽以及不飽和脂肪酸氧化，引起這類微生物、病毒的活性降低甚至死亡。細胞膜是臭氧氧化作用的主要部位，臭氧作用于細胞膜上，形成的游離根——超氧負離子自由基O-2能使細胞膜氧化破裂，失去物質交換能力，現時O-2又具有使基因改變的作用，使得生物體不能正常的生活。臭氧對幾乎所有的溫室氣傳病害的病原菌都具有防治和殺滅作用，而對多數土傳病害的防治也有效，臭氧殺菌要求有一定濃度和作用時間。環境中的溫度、濕度、空氣成分等因素對臭氧殺菌效果都有顯著影響。溫度愈高，殺菌效果愈差。棚溫在30℃以上的白天，臭氧滅菌幾乎無效，因此，夜晚、陰天使用效果好。濕度的影響要復雜的多，高濕有光照的防治效果較高濕無光照的效果差。用于溫室植物病害防治且又不然害植物生長的臭氧濃度為0.06×10-6，使用時間應小于20min。