植物受O3損害的程度主要取決于臭氧發生器濃度及作用時間。一般臭氧濃度大于0.08×10-6且作用時間超過1h以上，大多數的植物就會產生可視與不可視危害。在臭氧濃度的持續時間相同的條件下，由于植物生理、生態、環境及栽培條件不同，其受害程度也有很大差異。即使同一植物品種，在不同生育期內，在一天的不同時間內，其對臭氧的敏感程度都有明顯變化，甚至同一個體的不同葉片，對臭氧的感受也有明顯差異。另外，在實際的溫室栽培條件下，臭氧在光的作用下，會同NO2、NH3（本機無氮氧化物）及農藥中的揮發有機氣體相作用形成復合危害的氣團，在復合危害的條件下，植物的受害程度就會出現新的變化，呈現相柔、相克或相加的種種關系。也就是說，溫室內空氣超污濁，投放的高濃度臭氧同污濁的空氣成分相作用，即有可能為植物提供新的營養物質，也有可能迅速危害植物。特別是當濃度達到0.15×10-6以上的高濃度臭氧對農作物造成的可視危害癥狀與SO2的危害癥狀基本相同，如綠色消褪，葉色變紅，葉表面灰白，出現白色的蕎麥狀的小斑點、暗褐色的點斑和不規則的大范圍壞死。臭氧對植物的危害還有一些是不可視的，如生理機能降低，生長發育受到抑制，形成早期老化，致使產量降低等。無論是可視的還是不可視的危害，臭氧的危害都是由氣孔開始的，臭氧侵入的速度受氣孔開度的支配，臭氧危害植物的機制表現在4個方面。①O3進入葉肉時，氣孔及葉肉組織就增大對O3擴散的阻抗作用，這同時也阻抗了CO2的進入和擴散。②O3本身有破壞葉綠體的作用，并阻礙光合反應中的部分電子傳遞。③破壞葉肉組織，O3主要是破壞葉肉的柵狀組織細胞。④O3損害細胞的透性，使細胞液大量滲出，部分植物還有乙烯逸出，使植物自身早期老化等。總之，O3阻礙和破壞植物的光合作用、生理機能，使植物的干物質產量降低。因此，用于溫室病害防治的臭氧濃度一定要控制在0.06×10-6以內，且作用時間要短于30min。